CYG401高频压力传感器

产品综述：

在军事工程、化爆试验、石油勘采与试井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中，需要不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力波形与幅值、有效值，这就要求所用压力传感器具有高的固有频率、极短的上升时间和宽广优良的响应频带，以保证足够的动态测压精度，本系列产品即是为此设计开发的，它利用微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小，固有频率高;有优良的弹性力学特性，综合性能优于压电动态压力传感器，是动态测压的首选。

产品型号：

一、CYG401型(高频压力传感器)

1、特 点：采用感压膜片齐平封装设计，彻底消除管腔效应，因而传感器频响极高。

2、量程及动态特性：

量 程 MPa 1 2 4 6 10 20 40 60 100

固有频率 KHz 180 240 320 250 320 450 600 800 1000

上升时间 μs 1 1 0.5 0.5 0.5 0.3 0.3 0.2 0.2

3、工作介质温度： -40℃～105℃，特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/20ms

4、补 偿 温 度： J级-10℃～60℃；M级0℃～50℃。亦可按用户要求特订。

5、抗 光 敏 感： J级可加强抗红外及可见光；M级抗可见光

6、精 度 档 级：

指标

档级 零点时漂

mv/8h 零位温度系数

×10-4/℃.FS 灵敏度温度系数

×10-4/℃.FS 非线性

±％FS 不重复性、迟滞

%FS

JA 0.1 3 3 0.5 0.3

JB 0.1 1 1 0.2 0.1

MA 0.2 5 5 0.5 0.3

MB 0.15 3 3 0.2 0.2

7、外 形 尺 寸：

二、CYG402型(高频高温压力传感器)

1、特 点：本产品为国家攻关项目，采用耐高温S0I型感压膜片齐平封装设计，彻底消除管腔效应。

2、量程及动态特性：

量 程 MPa 6 10 20 40 60 100

固有频率 KHz 250 320 450 600 800 1000

上升时间 μs 0.5 0.5 0.3 0.3 0.2 0.2

3、工作介质温度：-40℃～200℃，特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/100ms

4、补 偿 温 度：-10℃～150℃，亦可按用户要求特订

5、抗 光 敏 感：抗红外及可见光

6、精 度 档 级：

指标

档级 零点时漂

mv/8h 零位温度系数

×10-4/℃.FS 灵敏度温度系数

×10-4/℃.FS 非线性

±％FS 不重复性、迟滞

%FS

JA 0.1 5 5 0.5 0.2

JB 0.1 1 1 0.2 0.1

三、CYG404型(特种高温动态压力传感器)

特 点：本产品为特殊设计专用产品，国家863成果，采用耐高温SOI力敏元件，及特殊结构设 计，

从而保证传感器仍有较高频响的同时，具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力，需特殊订货。

量 程：0～10MPa至0～60MPa全量程覆盖。

固有频率：大于20KHz

工作介质温度：耐平衡高温220℃、瞬时高温2000℃/1000ms（或协商特订）

四、CYG406型(动态微压传感器)

特 点：采用微机械加工微型压阻力敏芯片，及尽量避免管腔效应影响,同时又具有较好抗光影响及介

质导电性影响的准齐平结构设计,因而传感器在低微压量程有较优良的动态频率特性、静态特

性及宽的介质适应能力

量程及动态特性：

量 程 KPa 1 4 10 25 10 250 600

固有频率 KHz ＞5 ＞5 ＞20 ＞100 ＞150 ＞300 ＞300

上升时间 μs 5 5 2 1 1 0.5 0.5

工作介质温度：-40℃～105℃，特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/20ms。

补 偿 温 度：J级-10℃～60℃；M级0℃～50℃。亦可按用户要求特订。

指标

档级 零点时漂

mv/8h 零位温度系数

×10-4/℃.FS 灵敏度温度系数

×10-4/℃.FS 非线性

±％FS 不重复性、迟滞

%FS

JA 0.15 3 3 0.5 0.2

JB 0.1 2 2 0.2 0.1

MA 0.3 5 5 0.5(1.0*) 0.3

MB 0.2 3 3 0.2(0.5*) 0.2

注：*为4kPa以下量程参数

五、CYG409型(水冷高频高温压力传感器)

特 点：本产品为国家创新基金项目成果，采用SOI高温压阻力敏芯片，齐平封装，彻底消除管腔效应，

同时采用强制水冷结构，使得传感器在高温工况下仍具有极优良的高频动态特性。

量程及动态特性：

量 程 MPa 1 2 4 6 10 20 40 60 100

固有频率 KHz 180 240 320 250 320 450 600 800 1000

上升时间 μs 1 1 0.5 0.5 0.5 0.3 0.3 0.2 0.2

气体介质温度：J级20℃～450℃；M级20℃～300℃。

供电电源：

传感器输出信号模式的产品，请用恒流源供电，供电电流大小参考产品卡片。无恒流源使用条件的用户，可在订货时说明恒压供电电压，我方可在传感器中加装恒流源，建议使用电压为15VDC或12VDC。