溅射薄膜式压力传感器

技术指标 传感器量程(bar) 5～2200 输出灵敏度(mV/V) 1～2.2 精度(%FS) ±0.05; ±0.1;±0.2; ±0.5 激励电压(VDC) 0～20 允许过压(%FS) 200 温度漂移(%FS0C) 小于±0.005 长期稳定性(%FS年) 小于±0.1 工作温度范围（℃） -40～150 测量介质 与不锈钢兼容的液体、气体也可

薄膜式压力传感器采用英国Senstronics（胜斯特）公司进口的溅射合金薄膜压力敏感元件结合先进的加工工艺技术制作而成。

压力介质直接作用的14-4PH不锈钢膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变单元，该合金材料以分子形式在弹性体上淀积成薄膜应变电阻，薄膜电阻与弹性体以分子键合“融”为一体，可长期在-40～150℃工作温度下稳定工作。

生产过程中传感器经过了严格的高、低温循环，经过了两行次的疲劳处理。产品具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高稳定，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特点。使用激光焊（电子束焊等）。将溅射薄膜式压力敏感元件与不锈钢压力接头焊为一体。结构件材料为17-4PH不锈钢，能在各种恶劣环境下长期稳定的工作。

该系列产品已广泛应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。