非接触电容式DWS型超精密振动--位移测量仪

简介：
量程/分辨率 +.-3微米/0.001 +.-30微米/0.01 +.-300微米/0.1 +.-3000微米/1 频响 0--7.5KHz 非线性 0.5% 温度系数 0.5% PerHour 输出 0--+.-5.1V 20mA

该产品既是测微仪,又是测振仪.测量是非接触的,特别适合旋转式或不受力的小型.线形.薄片或怕划伤的精密零件的静态.动态和在线测量.曾获得尤里卡世界发明奖.国家科技进步奖.在中国科学院。高等院校.研究所.工厂.军工部门得到广泛应用